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更新时间:2026-11-12
浏览次数:3配图备注:白底产品图,尺寸500*500,Behlke HTS61-10-LC2高压固态开关实物图
等离子发生、激光电光 Q 开关、EMC 电磁兼容测试、电穿孔、粒子探测等科研与工业场景,对高压信号切换速度、低抖动、隔离安全性有着要求。普通高压继电器、可控硅无法实现纳秒级快速切换,抖动大、重复稳定性差,难以满足脉冲电源系统需求。来自德国 Behlke Power Electronics 的HTS 系列高压固态半导体开关,依托模块化 Si/SiC 功率堆叠技术,可实现纳秒级上升沿、极低时间抖动,最高耐压可达 200kV,是脉冲功率领域固态开关产品。
Behlke Power Electronics GmbH 总部位于德国 Kronberg im Taunus,专注快速高压固态开关与脉冲发生器研发制造,拥有 30 余年脉冲功率电子研发经验,是全球高压半导体堆叠开关头部厂商。拥有 700 余种标准型号,模块化设计,支持碳化硅 SiC 方案、液冷 DLC 方案,产品提供长达 5 年质保,广泛应用于激光、等离子体、粒子加速器、医疗冲击波、EMC 测试、生物电穿孔、半导体离子注入等科研工业领域。本次重点解析型号:Behlke HTS61-10-LC2
HTS:High Voltage Transistor Switch,高压晶体管固态开关系列;
6:额定电压 6kV;
1:可变导通时长(variable on-time);
10:峰值电流 100A;
LC2:低耦合电容抗瞬态技术,高抗扰版本。
| 参数项 | 参数数值 |
| 最大工作电压 | 6 kV DC |
| 峰值电流 | 100 A |
| 导通时间 | 120 ns ~ 连续导通可调 |
| 上升沿 | <10ns |
| 时间抖动 | 极低 ps 级抖动 |
| 导通电阻 | 2.3 Ω |
| 隔离耐压 | >150kV |
| 控制信号 | TTL 电平 / 光纤 FO 隔离输入 |
| 外壳规格 | DAP 紧凑型封装 103×70×35mm |
| 散热方式 | 标准风冷,可选 DLC 介质液冷 |
| 保护功能 | 内置过热触发保护、故障信号输出、禁止输入锁定 |
| 通讯接口 | 故障状态反馈信号输出 |
| 工作频率 | 最高连续 3MHz,脉冲串最高 10MHz |
| 技术方案 | MOSFET 固态开关,LC2 低杂散电容结构 |
HTS LC2 系列采用多芯片串联堆叠固态 MOSFET 结构,内部集成驱动单元、有源输入滤波、过热保护回路。TTL 或光纤隔离信号输入,驱动功率半导体快速开通 / 关断高压主回路。
LC2 核心结构大幅降低开关耦合杂散电容,抑制高压瞬态干扰,提升 EMC 电磁兼容性能,在强电磁脉冲环境稳定工作。光纤隔离版本可实现高低压电气隔离,避免高压侧干扰串入低压控制回路。
可自由调节脉冲宽度,从纳秒级短脉冲一直到持续直流导通;开关内置热保护,温度超标自动关断并输出故障告警信号,防止器件烧毁。模块化封装,可多只开关串并联,搭建推挽、全桥高压脉冲电路。
纳秒级高速切换,极低抖动,上升沿快、时间抖动小,适合精密脉冲生成,激光 Pockels 盒驱动、TOF 质谱测量等精密时序场景。
LC2 低耦合电容设计,抗高压瞬态干扰,EMC 性能优异,减少系统高频振荡与误触发。
光纤隔离驱动选项,高低压隔离,保护低压控制电路,保障人员与后端仪器安全。
宽脉冲调节范围,脉冲宽度从百纳秒到导通,兼顾短脉冲实验与直流高压通断控制。
模块化设计,支持风冷、DLC 介质液体冷却,高频大功率工况可选液冷方案提升载流能力。
德国原厂装配,5 年质保,高可靠性,适合长时间不间断脉冲实验与工业化脉冲设备。
丰富的保护机制:过热保护、故障信号输出、禁止锁止输入,便于构建安全联锁系统。
Behlke HTS61-10-LC2 高压固态开关多用于激光普克尔盒驱动、等离子体发生器、EMC 浪涌测试设备、生物电穿孔、飞行时间质谱 TOF、高压绝缘测试仪、压电驱动、实验室脉冲电源。适合需要高速、低抖动、高隔离的纳秒级高压脉冲发生系统。
选型严格匹配最高工作电压与峰值电流,严禁超压使用;高压回路必须做好绝缘防护。
光纤控制版本优先用于强电磁干扰环境,TTL 控制适合电磁环境良好的实验台。
高频大功率连续运行场景,建议选用 DLC 介质液冷方案,降低器件温升。
高压回路增加吸收回路,抑制反向电压尖峰,保护半导体堆叠芯片。
故障输出信号可接入上位 PLC,构建系统联锁保护,故障状态下切断高压电源。
安装远离敏感弱电测量线路,高压走线做好屏蔽,降低空间电磁辐射干扰。
| 产品系列 | 产品简述 |
| HTS LC2 系列 | MOSFET 可变导通高压固态开关,科研脉冲、激光驱动 |
| HTS SiC 碳化硅系列 | HTSxx-SiC,低导通损耗,大功率高频工况 |
| HTS SCR 晶闸管系列 | 超大峰值电流(kA 级),用于电容放电、Crowbar 泄放保护 |
| GHTS 推挽脉冲发生器 | 集成推挽结构,直接输出正负方波脉冲,Pockels 专用驱动模块 |
| FSWP 方波脉冲源 | OEM 集成式脉冲单元,标准化脉冲输出 |
| DLC 介质液冷系统 | 含 PU-2 泵组,大功率高压开关散热方案 |
| 配套配件 | 高压快恢复二极管、高压探头、高压无感电阻、高压电容 |
Behlke HTS LC2 系列高压固态开关,是脉冲功率系统中纳秒级高压通断的核心器件。LC2 低杂散电容结构搭配光纤隔离控制,切换速度快、时序稳定,满足激光、等离子、EMC 测试等脉冲设备需求。中小功率纳秒脉冲选用 HTS LC2;大功率高频场景选用 SiC 系列;超大电流电容放电选用 SCR 晶闸管开关;正负方波脉冲可直接选用 GHTS 集成脉冲发生器。Behlke 提供固态开关、脉冲源、液冷系统全套高压脉冲功率解决方案,德国进口高压固态开关优选品牌。
配图备注:白底500*500 Behlke HTS LC2系列高压固态开关实物图